[发明专利]带电粒子束装置以及使用该装置的试样制作方法有效
| 申请号： | 201480023150.2 | 申请日： | 2014-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN105143846B | 公开（公告）日： | 2017-11-17 |
| 发明（设计）人： | 土谷美树;长久保康平;富松聪 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 范胜杰,文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在用于观察耐热性弱的材料的试样制作中，能够观察刚刚制作出最终观察面后的纯净的状态。本发明的试样制作方法使用带电粒子束装置制作试样，该带电粒子束装置具备具有冷却机构的微型探针、具备将试样保持为冷却的状态的机构的第一试样保持器、能够导入上述微型探针和第一试样保持器的工作台，该试样制作方法具备从冷却保持的第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的步骤；使该试样片与被冷却为一定温度的上述微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与第一试样保持器不同的冷却保持的薄膜观察用的第二试样保持器的步骤；在从微型探针切离了被转移到薄膜观察用试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的步骤；以及观察薄膜加工后的该试样片的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 以及 使用 试样 制作方法 | ||
【主权项】：
一种试样制作方法，其使用带电粒子束装置制作试样，该带电粒子束装置具备：具有冷却机构的微型探针、具备将试样保持为冷却的状态的机构的第一试样保持器、能够导入上述微型探针和上述第一试样保持器的工作台，该试样制作方法的特征在于，具备：从保持冷却的上述第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的步骤；使该试样片与被冷却为一定温度的微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与上述第一试样保持器不同的保持冷却的薄膜观察用的第二试样保持器的步骤；在从上述微型探针切离了被转移到上述第二试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的步骤；以及观察薄膜加工后的该试样片的步骤。
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