[发明专利]加速度传感器在审
| 申请号： | 201480031838.5 | 申请日： | 2014-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN105308463A | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 浜村宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;B81B3/00;G01P15/12;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡秋瑾 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的加速度传感器(11)包括固定部(12)、重锤部(13)、检测梁(14A)、支撑梁(14B、14C)和金属布线(15A)。重锤部(13)相对于固定部(12)可自由移位地被支撑。检测梁(14A)连接于固定部(12)和重锤部(13)，并设有压阻元件(16A～16D)。在检测梁(14A)之外另设有支撑梁(14B、14C)，该支撑梁(14B、14C)连接于固定部(12)和重锤部(13)。金属布线(15A)以穿过支撑梁(14B、14C)的方式布线，其两端引出到固定部(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种加速度传感器，其特征在于，包括：固定部；相对于所述固定部可自由移位地被支撑的重锤部；连接于所述固定部和所述重锤部，且设有压阻元件的检测梁；在所述检测梁之外另设的、连接于所述固定部和所述重锤部的支撑梁；以及两端引出到所述固定部，并以穿过所述支撑梁的方式布线的布线部。
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