[发明专利]EUV成像设备有效
| 申请号： | 201480033769.1 | 申请日： | 2014-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN105324721B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | J.库格勒;S.亨巴彻;M.施密德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/182 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出一种EUV成像设备，其包含参考结构(250,400,500)、第一光学元件(215)以及第二光学元件(315)，其中，第一光学元件(215)借助于第一致动器(205)相对参考结构(250,400,500)是可致动的，第一致动器(205)为自保持致动器，第二光学元件(315)借助于第二致动器(300)相对参考结构(250,400,500)是可致动的，第二致动器(300)为非自保持致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 光学元件 致动器 参考结构 成像设备 自保持 致动 | ||
【主权项】：
1.一种EUV成像设备(100)，包含：参考结构(250,400,500)；第一光学元件(215)，其借助于第一致动器(205)相对所述参考结构(250,400,500)是可致动的，该第一致动器(205)为半主动控制的自保持致动器；以及第二光学元件(315)，其借助于第二致动器(300)相对所述参考结构(250,400,500)是可致动的，该第二致动器(300)为非自保持致动器，其中借助于控制循环主动控制该第二致动器(300)。
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