[发明专利]真空泵有效
申请号: | 201480035337.4 | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN105324578B | 公开(公告)日: | 2018-05-15 |
发明(设计)人: | 坂口祐幸;三轮田透;三桥启太 | 申请(专利权)人: | 埃地沃兹日本有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘林华;李婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供抑制螺纹槽的排气侧出口处的气体生成物的产生而在长期内维持泵性能的真空泵。真空泵(1)将在内周侧定子(80)的外周面(80a)沿着气体排气方向(D2)延伸设置的突条部(81)的排气侧端部(81b)比吸气侧端部(81a)朝向转子旋转方向(R)的前方加宽地形成,具备流入抑制壁(83),流入抑制壁(83)抑制雕刻设置在突条部(81)之间的螺纹槽(82)的排气侧出口(82a)处的气体的滞留。 | ||
搜索关键词: | 真空泵 | ||
【主权项】:
1.一种真空泵,具备螺纹槽泵机构,该螺纹槽泵机构具有:转子圆筒部,设置在能够沿既定的旋转方向旋转的转子;大致圆筒状的定子,在该转子圆筒部经由间隙而配置在与所述转子圆筒部相同的轴上;多个突条部,在该定子的与所述转子圆筒部对置的对置面或所述转子圆筒部的与所述定子对置的对置面沿着气体排气方向延伸设置;以及螺纹槽,雕刻设置在该多个突条部之间,该真空泵将所述螺纹槽内的气体从所述气体排气方向的吸气侧向排气侧传送,其特征在于,具备抑制所述螺纹槽的排气侧出口处的气体的滞留的气体滞留抑制装置,所述气体滞留抑制装置是从所述突条部的所述气体排气方向的排气侧的排气侧端部朝向所述转子的所述旋转方向的前方延伸设置而形成的流入抑制叶片。
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