[发明专利]光固化性组合物和使用其制造光学组件的方法

摘要

在冷凝性气体气氛中的压印方法中，将模具与抗蚀剂固化膜分离(脱模)所需的力(脱模力)大。用于在含冷凝性气体的气氛中进行压印的光固化性组合物包括组分(A)，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分(B)，其为光聚合引发剂；和组分(C)，其为脱模剂。在5度(摄氏)和1个大气压下组分(C)在冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，冷凝性气体在5度(摄氏)和1个大气压下为液态。

主权项

一种光固化性组合物，其用于在含有冷凝性气体的气氛中进行压印，其特征在于，所述光固化性组合物包含：组分A，其为(甲基)丙烯酸酯单体；组分B，其为光聚合引发剂；和组分C，其为脱模剂，其中在5摄氏度和1个大气压下所述组分C在所述冷凝性气体中的饱和溶解度为50重量％以上，所述冷凝性气体在5摄氏度和1个大气压下为液态，其中所述组分C是由式(4)表示的化合物：[化学式4]其中，R表示烷基；X表示选自羟基、羧基、磺基、烷氧基、吡啶基和硅烷醇基中的一种；a和b各自表示0以上的整数，选自a和b中的至少一个表示1以上，当a或b为2以上且a+b为3以上时，氧乙烯基和氧丙烯基可以是无规共聚的或嵌段共聚的。