[发明专利]多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末及其制造和使用方法有效
| 申请号： | 201480038649.0 | 申请日： | 2014-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN105377756B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 山尾猛;本田道夫;治田慎辅;藤井孝行 | 申请（专利权）人： | 宇部兴产株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C01B21/068;B22C3/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 吴宗颐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够以低成本制造高光电转换效率的多晶硅锭的多晶硅锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末。本发明提供多晶硅锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末及其制造方法、含有该氮化硅粉末的浆料、以及多晶硅锭铸造用铸模及其制造方法、以及使用该铸模的多晶硅锭的制造方法，其中该多晶硅锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末的比表面积为5～40m2/g，将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO(质量％)、将在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO(质量％)、将比表面积记为FS(m2/g)，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸造 铸模 脱模剂 氮化 粉末 及其 制造 使用方法 | ||
【主权项】：
多晶硅锭铸造用铸模的脱模剂用氮化硅粉末，其特征在于，比表面积为5～40m2/g，将在粒子表面层存在的氧的含有比例记为FSO质量％、在粒子内部存在的氧的含有比例记为FIO质量％、比表面积记为FS m2/g，在此情况下，FS/FSO为8～30，FS/FIO为22以上，Fe(铁)的含量为10ppm以下，采用激光衍射式粒度分布计的体积基准的粒度分布测定中的10体积％粒径D10与90体积％粒径D90的比率D10/D90为0.05～0.20。
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