[发明专利]减小目标样品的厚度的方法有效
| 申请号： | 201480039553.6 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN105593967B | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 克里斯蒂安·朗;彼得·斯泰瑟姆;谢里尔·哈特菲尔德 | 申请（专利权）人： | 牛津仪器纳米技术工具有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司11112 | 代理人： | 顾红霞,何胜勇 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种减少目标样品的区域的厚度的方法。得到基准数据，该基准数据表示在第一组射束条件下由被引导至基准样品的一部分上的粒子束产生的x射线。在第二组射束条件下，粒子束被引导至目标样品的区域上。所得到的x射线被监测作为监测数据。然后，基于基准数据和监测数据计算输出数据。然后，根据输出数据从区域中去除材料，以减小区域的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 减小 目标 样品 厚度 方法 | ||
【主权项】：
一种减小目标样品的区域的厚度的方法，包括：a)得到基准数据，所述基准数据表示在第一组射束条件下由粒子束与基准样品的一部分相互作用而产生的x射线，其中，所述基准样品具有预定的成分；b)在第二组射束条件下使粒子束冲击所述目标样品的所述区域；c)对由所述粒子束与所述目标样品之间的相互作用而产生的x射线进行监测，以产生监测数据；d)基于所述监测数据和所述基准数据计算输出数据；以及e)根据所述输出数据从所述目标样品的所述区域中去除材料，以减小所述区域的厚度，其中，根据所述目标样品的所述区域的模型计算所述输出数据。
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