[发明专利]形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、以及记录介质

摘要

本发明能够更加简单地且在短时间内测量出被测定物的形状。形状测定装置具有：探针，包含投影光学系统及摄像装置，所述投影光学系统向所述被测定物的表面投影线状图案，或至少在线状扫描范围内一边扫描一边投影点图案；所述摄像装置对投影在所述被测定物上的图案像进行检测；移动机构，以使所述被测定物相对于所述探针以旋转轴为中心而旋转的方式使所述被测定物与所述探针相对性地旋转，并且使所述探针与所述被测定物中的任一者至少在相对于所述被测定物旋转的旋转方向而交叉的方向上相对性地移动；测定区域设定部，对所述被测定物的测定区域进行设定；以及实际测定区域设定部，基于利用所述测定区域设定部而设定的测定区域，对包含实际测定开始位置及实际测定结束位置的实际测定区域进行设定。所述实际测定区域设定部以比所述测定区域更靠近所述旋转轴的方式，设定所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中距旋转轴中心较近的一方，或者将所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中位于径向外侧的一方设定在比所述测定范围更远离旋转轴的方向上。

主权项

1.一种形状测定装置，其对被测定物的形状进行测定，其特征在于其具有：探针，包含：投影光学系统，向所述被测定物的表面投影线状图案，或至少在线状扫描范围内一边扫描点图案一边投影点图案；及摄像装置，对投影在所述被测定物上的图案像进行检测；移动机构，以所述被测定物相对于所述探针以旋转轴为中心而旋转的方式使所述被测定物与所述探针相对地旋转，并且使所述探针与所述被测定物中的任一者至少在与所述相对地旋转的旋转方向交叉的方向上相对地移动；控制部，以通过所述移动机构使所述被测定物以所述旋转轴为中心对所述探针相对地旋转，且一边于与所述旋转方向交叉的方向上使所述探针对所述被测定物相对地移动、一边使被投影至所述被测定物的图案像通过所述投影光学系统投影至不同的区域，使图案像通过所述摄像装置进行检测的方式进行控制；初始测定范围设定部，对所述被测定物的初始测定范围进行设定；以及实际测定范围设定部，基于利用所述初始测定范围设定部而设定的初始测定范围，对包含实际测定开始位置及实际测定结束位置的实际测定范围进行设定；而且所述实际测定范围设定部以比所述初始测定范围更靠近所述旋转轴的方式设定所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中距旋转轴中心较近的一方，或者将所述实际测定开始位置或所述实际测定结束位置中位于径向外侧的一方设定在比所述初始测定范围更远离所述旋转轴的方向上；所述控制部，从所述实际测定开始位置开始或所述实际测定结束位置为止中对所述移动机构的控制，是以一边使所述被测定物以所述旋转轴为中心对所述探针相对地旋转、一边于与所述旋转方向交叉的方向上使所述探针对所述被测定物相对地移动的方式进行。