[发明专利]在基板上从不同材料形成鳍的方法

摘要

形成不同材料的鳍的方法包括提供具有带顶面的第一材料层的基板，掩模该基板的第一部分而保持该基板的第二部分暴露，在该第二部分处蚀刻第一开口，在该开口中形成第二材料的基体达到与该第一材料层的顶面的水平，移除该掩模，并且在该第一部分处形成第一材料的鳍并且在该第二部分处形成第二材料的鳍。还公开了具有由至少两种不同材料形成的鳍的finFET器件。

主权项

1.一种形成不同材料的鳍的方法，包括：提供包括带顶面的第一材料层、第二材料层、以及在所述第二材料层上的第一氧化物层的基板，所述第一材料层位于所述第一氧化物层上；掩模所述基板的第一部分以形成掩模，而保持所述基板的第二部分暴露；在所述第二部分处蚀刻第一开口穿过所述第一材料层和所述第一氧化物层到达所述第二材料层；在所述第一开口中形成第一材料基体达到所述第一材料层的所述顶面的水平，其中所述第一材料基体由所述第一材料层和所述第一氧化物层围绕；移除所述掩模；以及在所述第一部分处形成所述第一材料的鳍以及在所述第二部分处形成所述第一材料基体的鳍。