[发明专利]驱动器、开闭装置、流体控制装置、开关及传感器装置

摘要

驱动器具备：具备固定电极及可动电极的静电驱动机构；由静电驱动机构驱动的第一可动部；弹性支撑第一可动部的第一弹性支撑部；形成于固定电极及可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向静电驱动机构的电压施加的驱动控制部。在驱动器上，在由驻极体引起的静电力与第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置设定多个对第一可动部进行定位的稳定状态。通过对静电驱动机构施加电压，能够使第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。

主权项

1.一种驱动器，具备：具备平面配置的固定电极及可动电极的静电驱动机构；设有上述可动电极且由上述静电驱动机构驱动的第一可动部；以上述可动电极能相对于上述固定电极在相同的面内滑动移动的方式弹性支撑上述第一可动部的第一弹性支撑部；形成于上述静电驱动机构的上述固定电极及上述可动电极的至少一方的驻极体；以及控制向上述静电驱动机构的电压施加的驱动控制部，该驱动器的特征在于，在与上述第一可动部的移动方向垂直的方向上，上述可动电极的下端与上述固定电极的下端位于相同的平面上，该相同的平面与上述可动电极的移动方向平行，在上述驱动器上设定多个将上述第一可动部定位于由上述驻极体引起的静电力与上述第一弹性支撑部的弹性力平衡的稳定位置或设于其附近的稳定位置的稳定状态，上述驱动控制部通过对上述静电驱动机构施加电压来使由该静电驱动机构的上述驻极体产生的静电力暂时地减弱，以使从任意的稳定状态向其他稳定状态变化，使上述第一可动部从任意的稳定位置向其他稳定位置移动。