[发明专利]基板检查装置有效
| 申请号： | 201480046819.X | 申请日： | 2014-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN105518440B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 洪德和;琴晶*;宋丞镐 | 申请（专利权）人： | 株式会社高永科技 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人： | 郑青松 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及能够缩短检查时间、提高使用者便利性的基板检查装置。根据本发明一特征的基板检查装置包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从测量单元传送的各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块设置多个检查区域的优化的测量顺序及多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过优化模块而优化的测量顺序及数据处理顺序相关的优化相关信息。 | ||
| 搜索关键词： | 基板检查装置 数据处理部 测量顺序 多个检查 优化模块 数据处理顺序 测量单元 检查区域 影像数据 优化 检查基板 相关信息 用户界面 数据处理 便利性 测量 传送 检查 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其中，包括：测量单元，其针对包括多个检查区域的检查基板，根据确定的测量顺序，测量所述多个检查区域，从而获得各检查区域的影像数据；控制部，其包括多个数据处理部及优化模块，所述多个数据处理部执行从所述测量单元传送的所述各检查区域的多个影像数据的数据处理，所述优化模块考虑已知的所述测量单元的移动时间及所述各检查区域的影像数据的数据处理时间，设置所述多个检查区域的优化的测量顺序及所述多个数据处理部的优化的数据处理顺序；及用户界面，其显示与通过所述优化模块而优化的所述测量顺序及所述数据处理顺序相关的优化相关信息；其中，所述用户界面包括检查区域顺序图部，所述检查区域顺序图部显示所述多个数据处理部对所述各检查区域影像数据进行数据处理的数据处理顺序，其中所述各检查区域的多个影像数据根据通过所述优化模块而优化的测量顺序而获得。
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