[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造掩模的方法有效
| 申请号： | 201480048190.2 | 申请日： | 2014-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN105492654B | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 池永知加雄;宫谷勋 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种具有良好的传送性的金属板。金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4％以下。另外，中央部分的陡峭度的最大值为一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为另一端侧部分的陡峭度的最大值以下。此外，一端侧部分的陡峭度的最大值与另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 金属板 制造 方法 使用 | ||
【主权项】：
一种金属板的制造方法，其为通过形成2个以上的贯通孔而用于制造掩模的金属板的制造方法，其中，所述掩模的所述贯通孔是通过对所传送的长条状的所述金属板进行蚀刻而形成的，所述金属板的制造方法具备下述工序：轧制工序，在该工序中，对母材进行轧制而得到所述金属板；和切断工序，在该工序中，以预定范围切掉所述金属板的宽度方向的一端和另一端，所述切断工序后的所述金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状起因于该金属板的长度方向的长度根据其宽度方向的位置而有所不同，将所述切断工序后的所述金属板的所述起伏形状的高度相对于所述起伏形状的所述长度方向的周期的百分比称为陡峭度时，满足以下条件(1)～(3)，(1)所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的中央部分的陡峭度的最大值为0.4%以下；(2)所述中央部分的陡峭度的最大值为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的一端侧部分的陡峭度的最大值以下，并且为所述切断工序后的所述金属板的宽度方向的另一端侧部分的陡峭度的最大值以下；和(3)所述一端侧部分的陡峭度的最大值与所述另一端侧部分的陡峭度的最大值之差为0.4%以下；所述一端侧部分、所述中央部分和所述另一端侧部分分别是占所述切断工序后的所述金属板的宽度的30%、40%和30%的部分，由所述金属板制造的所述掩模是用于以所期望的图案进行蒸镀的蒸镀掩模，所述金属板的厚度为0.020mm以上且0.100mm以下。
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