[发明专利]图案形成方法以及使用该方法的触摸面板的制造方法无效
| 申请号： | 201480049456.5 | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN105531393A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;青炜 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供图案形成方法以及使用该方法的触摸面板的制造方法。图案形成方法的特征在于，使用具有对形成于对象物面上的图案进行了分割的开口图案的多个溅射用掩膜进行多次溅射成膜(S3、S5)，并且合成通过多个溅射用掩膜分别成膜的图案形成单一的图案。通过在对象物面上对图案直接进行溅射成膜从而不需要曝光工序与显影工序。并且，通过对形成于对象物面上的图案进行分割，难以产生溅射用掩膜的变形、偏移等。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 以及 使用 触摸 面板 制造 | ||
【主权项】：
一种图案形成方法，其特征在于，使用具有对形成于对象物面上的图案进行了分割的开口图案的多个溅射用掩膜进行多次溅射成膜，并且合成通过所述多个溅射用掩膜分别成膜了的图案而形成单一的图案。
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