[发明专利]带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法在审
| 申请号： | 201480049960.5 | 申请日： | 2014-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN105531396A | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 伊藤治;长岛卓哉;青野雅广;山本孝充 | 申请（专利权）人： | 田中贵金属工业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高培培;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以简易的方法矫正产生了翘曲的带背板(BP)的溅射靶材的翘曲的翘曲矫正方法。包含：配置工序，将带BP的溅射靶材(10)以靶材(12)侧位于上方的方式配置于以在上下方向上相对的方式配备上侧的加压面(22B)和下侧的加压面(22A)的加压装置的下侧的加压面(22A)，并且在带BP的靶材(10)的背板(14)侧的外缘部(14A)与下侧的加压面(22A)之间配置间隔件(18)；和加压工序，在所述配置工序之后，通过所述加压装置在上下方向上对带BP的靶材(10)进行加压，靶材(12)是金属氧化物和碳中的至少一方分散到基体金属中而得到的复合体。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 溅射 矫正 方法 | ||
【主权项】：
一种带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法，减少带背板的溅射靶材的翘曲，所述带背板的溅射靶材通过以钎料将溅射靶材和背板接合而成，所述溅射靶材侧翘曲成凸，所述背板侧翘曲成凹，所述带背板的溅射靶材的翘曲矫正方法的特征在于，包含：配置工序，将所述带背板的溅射靶材以所述溅射靶材侧位于上方的方式配置于加压装置的下侧的加压面，并且在所述带背板的溅射靶材的所述背板侧的外缘部与所述加压装置的所述下侧的加压面之间配置间隔件，所述加压装置以在上下方向上相对的方式配备有上侧的加压面和所述下侧的加压面，且能够在上下方向上对配置于该下侧的加压面之上的被加压物进行加压；和加压工序，在所述配置工序之后，通过所述加压装置在上下方向上对所述带背板的溅射靶材进行加压，所述溅射靶材是金属氧化物和碳中的至少一方分散于基体金属中而得到的复合体。
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