[发明专利]电子枪装置以及真空蒸镀装置有效
| 申请号： | 201480051603.2 | 申请日： | 2014-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN105555994B | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 后田以诚;失岛太郎;增井透 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;G21K5/04;H01J37/06 |
| 代理公司： | 北京华夏正合知识产权代理事务所(普通合伙) 11017 | 代理人： | 韩登营;栗涛 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够产生多个电子束且能够简化设备的电子枪装置以及真空蒸镀装置。电子枪装置具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元以及控制部。第1和第2丝极能够产生第1和第2电子束。电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使第1丝极或者第2丝极产生电子束的加热电流；偏压供给部，其将偏压施加给加热电流。切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，其中，第1状态为向第1丝极供给驱动电流的状态；第2状态为向第2丝极供给驱动电流的状态。控制部控制第1状态和第2状态的切换，其中，驱动电流是对加热电流施加偏压后形成的电流。 | ||
| 搜索关键词： | 丝极 加热电流 电子束 电子枪装置 驱动电流 真空蒸镀装置 电源单元 切换单元 简化设备 偏压供给 偏压施加 供给部 施加 | ||
【主权项】：
1.一种电子枪装置，其特征在于，具有第1丝极、第2丝极、电源单元、切换单元与控制部，其中，所述第1丝极能够产生第1电子束；所述第2丝极能够产生第2电子束；所述电源单元具有：加热电流供给部，其供给用于使所述第1丝极和所述第2丝极中的任意一个产生电子束的加热电流；偏压供给部，其向所述加热电流施加偏压；所述切换单元构成为，能够选择性地切换第1状态和第2状态，所述第1状态为向所述第1丝极供给驱动电流的状态，所述第2状态为向所述第2丝极供给所述驱动电流的状态，其中，所述驱动电流是对所述加热电流施加所述偏压后形成的电流；所述控制部控制所述第1状态和所述第2状态的切换，所述控制部对所述加热电流是否正被所述偏压供给部施加所述偏压进行判定，当判定结果为没有施加所述偏压时，所述控制部切换所述第1状态和所述第2状态。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480051603.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：可检测阵列、诊断系统以及其制作和使用方法
- 下一篇：缸孔和活塞环的组合
- 同类专利
- 专利分类
