[发明专利]工件的两面研磨装置及两面研磨方法有效
| 申请号： | 201480063032.4 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN105873724B | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 御厨俊介;三浦友纪 | 申请（专利权）人： | 胜高股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 张雨,李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的工件的两面研磨装置具备旋转平板、恒星齿轮、内齿轮、载体板，前述旋转平板具有上平板及下平板，前述恒星齿轮设置于前述旋转平板的中心部，前述内齿轮设置于前述旋转平板的外周部，前述载体板设在前述上平板与前述下平板之间，具有保持工件的1个以上的保持孔，其特征在于，还具备滴下供给部、压送供给部，前述滴下供给部将研磨浆借助自然滴下向前述上下平板间供给，前述压送供给部将研磨浆借助压送向前述上下平板间供给，能够从前述滴下供给部及前述压送供给部将研磨浆同时向前述上下平板间供给。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 两面 研磨 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种工件的两面研磨装置，具备旋转平板、恒星齿轮、内齿轮、载体板，前述旋转平板具有上平板及下平板，前述恒星齿轮设置于前述旋转平板的中心部，前述内齿轮设置于前述旋转平板的外周部，前述载体板设在前述上平板与前述下平板之间，具有保持工件的1个以上的保持孔，其特征在于，还具备滴下供给部、压送供给部，前述滴下供给部将研磨浆借助自然滴下向前述上下平板间供给，前述压送供给部将研磨浆借助压送向前述上下平板间供给，能够从前述滴下供给部及前述压送供给部将研磨浆同时向前述上下平板间供给。
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