[发明专利]电子注入器和自由电子激光器有效
| 申请号： | 201480066424.6 | 申请日： | 2014-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN105794055B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | A·A·尼基佩洛夫;V·Y·巴宁;P·W·H·德加格;G·C·德维雷斯;O·W·V·弗雷杰恩斯;L·A·G·格里敏克;A·卡特勒尼克;J·A·G·阿克曼斯;E·R·洛普斯特拉;W·J·恩格伦;P·R·巴特莱杰;T·J·科南;W·P·E·M·奥普特鲁特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/09 | 分类号： | H01S3/09;H05H7/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于提供电子束的注入器装置。注入器装置包括用于提供电子束团的第一注入器和用于提供电子束团的第二注入器。注入器装置可操作为以电子束包括仅由第一注入器提供的电子束团的第一模式和电子束包括仅由第二注入器提供的电子束团的第二模式操作。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 注入 自由电子 激光器 | ||
【主权项】：
1.一种电子注入器，包括：支撑结构，被布置为支撑光阴极；束传递系统，被布置为将来自辐射源的辐射束引导到所述光阴极的区域上，从而使得所述光阴极发射电子束；调整机构，可操作为改变由所述辐射束照射的所述光阴极的所述区域；以及控向单元，可操作为向所述电子束施加力，以改变所述电子束的轨迹，使得电子变得与所述电子注入器的轴线大致一致。
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