[发明专利]生产盖基板的方法以及封装的辐射发射器件有效
| 申请号： | 201480073332.0 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN107078456B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 沃尔夫冈·雷内特;汉斯·约阿希姆·昆泽 | 申请（专利权）人： | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号： | H01S5/022 | 分类号： | H01S5/022;H01L33/58;C03B23/20;C03B23/02;H01L33/56;H01L33/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 杨静 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种生产盖基板(1)的方法、一种在晶片级生产封装的辐射发射器件的方法以及一种辐射发射器件。通过生产盖基板(1)，提供包括大量辐射发射器件(17)的晶片形式的器件基板(16)，将基板彼此叠加地布置，使得基板沿中间接合框(15)接合，并且切割封装的辐射发射器件，提供有利地布置在摆脱有机物的腔体内的改进的封装的辐射发射器件，并能够仍然在晶片级，在切割之前，以简化方式检验改进的封装的辐射发射器件的功能方面。 | ||
| 搜索关键词： | 生产 盖基板 方法 以及 封装 辐射 发射 器件 | ||
【主权项】：
一种生产盖基板(1)的方法，包括：‑提供包括结构化表面区域(3)的模具基板(2)；‑将盖体基板(4)布置在模具基板(2)的结构化表面区域(3)上，盖体基板(4)包括玻璃材料，并将盖体基板(4)连接到模具基板(2)，以至少部分重叠的方式使模具基板(2)的结构化表面(3)与盖体基板(4)的表面接触；‑从模具基板(2)形成第一岛状区域(5)和分别关联的相邻第二岛状区域(6)，其中，在第一岛状区域(5)和分别关联的相邻第二岛状区域(6)之间设置有凹部(7)；‑将窗口组件(8、8’)布置在位于第一岛状区域(5)和关联的相邻第二岛状区域(6)之间的凹部(7)内；‑将载体基板(9)布置在从模具基板(2)形成的第一岛状区域(5)和第二岛状区域(6)上，使得第一岛状区域(5)和第二岛状区域(6)位于载体基板(9)与盖体基板(4)之间；‑将接合的基板回火，使得盖体基板(4)的玻璃材料流入位于岛状区域之间的其余凹部(7)中；以及‑从模具基板(2)和载体基板(9)去除盖体基板(4)，以获得结构化的盖基板(1)。
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