[发明专利]搬运方法及搬运装置有效
| 申请号： | 201480082470.5 | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN107073716B | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | 永田良;藤田政利 | 申请（专利权）人： | 株式会社富士 |
| 主分类号： | B25J13/00 | 分类号： | B25J13/00;G05D19/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 穆德骏;谢丽娜 |
| 地址： | 日本爱知*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在使吸嘴(51)所吸附的元件(P)朝向目标XY坐标沿XY方向移动之后(S120～S140)，在到达目标XY坐标附近之后计测元件(P)所产生的Y方向的振动的波形(振动波形)(S150、S160)，以在元件(P)的位移(y)横穿计测出的振动波形的波节的定时使元件(P)到达目标Z坐标(值0)的方式控制Z方向的移动(S170～S210)。由此，即便在使元件(P)沿XY方向移动之后，在残存有振动的期间使元件(P)沿Z方向移动而装配在基板(S)上的情况下，也能够进一步减少装配位置偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种搬运方法，使用前端部能够沿第一方向和第二方向移动的机器人，将保持于所述前端部的对象物向预定的目标位置搬运并载置，所述搬运方法的特征在于，作为所述预定的目标位置，取得所述第一方向的目标位置即第一目标位置和所述第二方向的目标位置即第二目标位置，执行如下的第一方向移动控制：以使所述前端部的所述第一方向的位置与所述第一目标位置一致的方式控制所述机器人，在执行所述第一方向移动控制之后，计测或预测所述前端部的所述第一方向的振动波形，执行如下的第二方向移动控制：基于计测或预测出的所述前端部的所述第一方向的振动波形以在振动中的预定定时使所述前端部的所述第二方向的位置与所述第二目标位置一致的方式控制所述机器人来载置所述对象物。
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