[发明专利]用于检查基板的设备、用于检查基板的方法、大面积基板检查设备及其操作方法在审
| 申请号： | 201480084213.5 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN107110799A | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 伯恩哈德·穆勒;路德威格·里德尔;阿克塞尔·文策尔;利迪娅·帕瑞索利;马蒂亚斯·布鲁纳 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国,赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述一种用于检查用于显示器制造的大面积基板的设备。所述设备包含真空腔室；基板支撑件，布置在真空腔室中，其中基板支撑件被配置成用于支撑用于显示器制造的大面积基板；以及第一成像带电粒子束显微镜，被配置成用于产生用于检查由基板支撑件支撑的基板的带电粒子束，其中第一成像带电粒子束显微镜包含物镜的减速场透镜部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 设备 方法 大面积 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种用于检查用于显示器制造的大面积基板的设备，所述设备包括：真空腔室；基板支撑件，布置在所述真空腔室中，其中所述基板支撑件被配置成用于支撑用于显示器制造的所述大面积基板；以及第一成像带电粒子束显微镜，被配置成用于产生用于检查由所述基板支撑件支撑的基板的带电粒子束，其中所述第一成像带电粒子束显微镜包括：物镜的减速场透镜部件。
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