[发明专利]压印装置、压印方法以及物品的制造方法

摘要

本发明提供压印装置、压印方法以及物品的制造方法。所述压印装置包括控制单元，其被构造为进行检测处理，其中所述检测处理包括第一处理和第二处理，在所述第一处理中，使检测光学系统在以使得基准标记位于所述检测光学系统的视野外的方式定位基板台的状态下检测模具侧标记，在所述第二处理中，使所述检测光学系统在以使得所述模具侧标记针对所述检测光学系统散焦的方式定位所述模具台并且以使得所述基准标记位于所述检测光学系统的视野内的方式定位所述基板台的状态下，检测所述基准标记。

主权项

1.一种压印装置，其使用模具进行在基板上的压印材料上形成图案的压印处理，所述压印装置包括：模具台，其被构造为保持所述模具并且能够移动；基板台，其包括基准标记，并且被构造为保持所述基板并且能够移动；检测光学系统，其被构造为检测所述模具上的模具侧标记、以及所述基准标记和所述基板上的对准标记；以及控制单元，其被构造为基于来自所述检测光学系统的检测结果，来进行所述压印处理，和控制检测处理以进行所述模具与所述基板之间的对准，所述检测处理包括所述模具台和所述基板台的定位以及所述检测光学系统进行的检测，其中，所述检测处理使所述检测光学系统在所述模具侧标记与所述对准标记彼此分离的第一状态下，检测所述模具侧标记和所述对准标记，并且其中，所述检测处理包括第一检测处理和第二检测处理，作为检测所述模具侧标记和所述基准标记的处理，在所述第一检测处理中，使所述检测光学系统在以使得所述基准标记位于所述检测光学系统的视野外的方式定位所述基板台、并且以使得所述模具侧标记位于所述检测光学系统的焦平面上的方式定位所述模具台的第二状态下，检测所述模具侧标记，在所述第二检测处理中，使所述检测光学系统在以使得所述模具侧标记针对所述检测光学系统散焦的方式定位所述模具台、并且以使得所述基准标记位于所述视野内和所述焦平面上的方式定位所述基板台的第三状态下，检测所述基准标记，在所述模具侧标记针对所述检测光学系统散焦的情况下，与所述模具侧标记处于所述第一状态的情况相比，所述模具侧标记从所述焦平面分离得更远。