[发明专利]自冷式移动式镀膜承载盘

摘要

本发明提供一种自冷式移动式镀膜承载盘，包含一载盘单元，及一相变化物质。该载盘单元内部形成有一密闭空间。该相变化物质填置于该载盘单元的密闭空间中。该相变化物质能自该载盘单元吸收一热能，以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。借由该相变化物质本身于相变过程所需的熔解潜热，以自该载盘单元吸收该热能，能带走于溅镀过程中累积在待镀物上的高温热能，以借此提升散热效果并从而改善镀膜质量。

主权项

一种自冷式移动式镀膜承载盘，其特征在于其包含：一载盘单元，内部形成有一密闭空间，该载盘单元包括一基座、一封板及多个锁固件，该基座具有一基壁与一围绕该基壁的一周缘以定义出一凹槽的围壁，该封板盖设于该围壁的一表面以封闭该凹槽并定义出该密闭空间，该基座的基壁具有多个自该基壁的一表面朝该封板凸伸而出的凸柱，每一凸柱具有一锁固孔，所述锁固件是贯穿该封板，以分别对应锁固于所述锁固孔，使该封板与该基座结合；及一相变化物质，填置于该载盘单元的密闭空间中；其中，该相变化物质能自该载盘单元吸收一热能，以作为至少部分的该相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且该相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。