[发明专利]一种石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201510021262.0 | 申请日： | 2015-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN104617180B | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 林时胜;吴志乾;徐志娟;李晓强;王朋;章盛娇;钟汇凯;徐文丽;陈红胜 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01L31/102 | 分类号： | H01L31/102;H01L31/0352;H01L31/02;H01L31/0296;H01L31/028;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，该紫外探测器自下而上依次有背面电极、氧化锌层、氮化硼层、石墨烯层和正面电极。其制备方法步骤如下先在洁净的氧化锌一面制作背面电极；再将氮化硼转移至洁净的氧化锌另一面上；然后将石墨烯转移到氮化硼上；最后在石墨烯上制作正面电极，获得石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器。本发明的石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器利用石墨烯材料的高透光性、高导电性六方氮化硼优异的绝缘性和透光度，并结合氧化锌优异的紫外探测性质，制作出工艺简单，成本低廉，响应度高的紫外探测器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 氮化 氧化锌 紫外 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种石墨烯/氮化硼/氧化锌紫外探测器，其特征在于自下而上依次有背面电极（1）、氧化锌层（2）、氮化硼层（3）、石墨烯层（4）和正面电极（5），所述的氮化硼层（3）中的氮化硼为1‑20层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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