[发明专利]基板处理方法和基板处理装置

摘要

本发明提供一种基板处理方法和基板处理装置。在该基板处理方法中使用基板处理装置，该基板处理装置包括处理容器和旋转台，该旋转台以能够旋转的方式设于所述处理容器内且具有基板载置部。在该基板处理方法中，将基板载置于所述基板载置部，向所述处理容器内供给处理气体而对所载置的所述基板进行处理。在将所述基板载置于所述基板载置部的状态下向所述处理容器内至少供给水蒸气，并输出所述基板载置部上的所述基板。

主权项

一种基板处理方法，在该基板处理方法中使用基板处理装置，该基板处理装置包括处理容器和旋转台，该旋转台以能够旋转的方式设于所述处理容器内且具有基板载置部，其中，该基板处理方法包括如下工序：载置工序，在该载置工序中，将基板载置于所述基板载置部；处理工序，在该处理工序中，向所述处理容器内供给处理气体而对所载置的所述基板进行处理；供给水蒸气工序，在该供给水蒸气工序中，在将所述基板载置于所述基板载置部的状态下，向所述处理容器内至少供给水蒸气；以及输出工序，在该输出工序中，输出所述基板载置部上的所述基板，其中，反复进行规定的次数的如下工序：所述载置工序、所述处理工序、所述供给水蒸气工序、以及所述输出工序，其中，所述载置工序和所述输出工序是使用输送臂来实施的，在所述输出工序中所述输送臂输出所述基板时，通过在该基板被输出后的所述基板载置部上载置接下来的所述基板，从而实施所述输出工序之后的所述载置工序。