[发明专利]一种组合式硅片片盒装置

摘要

本发明涉及半导体工艺设备技术领域，提供了一种组合式硅片片盒装置，包括片盒本体以及若干个片匣；其中，片盒本体用于容纳若干个片匣，其包括片盒门、插槽以及凸起，凸起用于与片匣的锁扣相配合，以固定片匣在片盒本体内的位置；同时，片匣用于容纳单枚硅片，其包括片匣小门以及锁扣，锁扣可控制片匣小门的开闭状态；当取出单个片匣时，片匣的锁扣脱离片盒本体的凸起，且锁扣使片匣小门处于闭合状态；当放入单个片匣时，片匣的锁扣锁定片盒本体的凸起，且锁扣使片匣小门处于可打开状态。本发明在转送单枚硅片时，将单个片匣取出即可，转运过程中，既避免搬运整个片盒，同时也避免了硅片碎片或硅片受污等情况，转运便捷同时可以较好的保护硅片。

主权项

一种组合式硅片片盒装置，用于存储硅片，其特征在于，包括片盒本体以及若干个片匣；所述片盒本体用于容纳若干个片匣，其包括片盒门、插槽以及凸起，所述片盒门设于所述片盒本体的侧面，用于封闭所述片盒本体，所述插槽设于所述片盒本体的内腔，用于供所述片匣插入，所述凸起设在所述插槽的端部，用于与所述片匣的锁扣相配合，以固定所述片匣在所述片盒本体内的位置；所述片匣用于容纳单枚硅片，其包括片匣小门以及锁扣，所述片匣小门设于所述片匣的侧面，用于封闭所述片匣，所述锁扣可控制所述片匣小门的开闭状态；所述片匣小门与所述片匣为转轴连接，所述片匣小门上还具有弹性件；其中，当所述片匣的锁扣锁定所述片盒本体的凸起时，所述片匣小门在所述弹性件弹力的作用下打开片匣小门；其中，当取出单个所述片匣时，所述片匣的锁扣脱离所述片盒本体的凸起，且所述锁扣使所述片匣小门处于闭合状态；当放入单个所述片匣时，所述片匣的锁扣锁定所述片盒本体的凸起，且所述锁扣使所述片匣小门处于可打开状态。