[发明专利]质量分析装置在审
| 申请号： | 201510047460.4 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN104681391A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 诸熊秀俊;桥本雄一郎;杉山益之;山田益义;长谷川英树 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J49/00 | 分类号： | H01J49/00;H01J49/04;H01J49/10;H01J49/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;严星铁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及质量分析装置。本发明提供小型轻量且可进行高精度的质量分析装置(100)。该质量分析装置具有：为了使测定试样(4)离子化而对从外部流入的气体(23)进行离子化的离子源(101)和分离已离子化的测定试样(4)的质量分析部(102)；离子源(101)通过来自质量分析部(102)的差动排气来使内部减压，在吸入气体(23)而使气压上升时使气体(23)离子化，质量分析部(102)在吸入气体(23)后内压下降时将已离子化的测定试样(4)分离。具有：抑制离子源(101)取入的气体(23)的流量的抑制构件(9)和对离子源(101)取入的气体(23)的气流进行开闭的开闭机构(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种质量分析装置，其特征在于：具有：为了将测定试样离子化而使从外部流入的气体离子化的离子源；以及分离已离子化的上述测定试样的质量分析部，上述离子源通过来自上述质量分析部的差动排气来使内部减压，在吸入上述气体而使内压上升至约100Pa～约10000Pa时使上述气体离子化，上述质量分析部在与上述气体的吸入联动地上升的内压在吸入上述气体后下降到约0.1Pa以下时，将已离子化的上述测定试样分离。
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