[发明专利]涂布装置有效
| 申请号： | 201510053016.3 | 申请日： | 2015-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN104841607B | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 伊藤隆介;高村幸宏;相良秀一;大宅宗明 | 申请（专利权）人： | 斯克林集团公司 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 杨贝贝,臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布装置，在利用涂布液供给管对移动的喷嘴输送涂布液的构成中，可减少从喷嘴喷出的涂布液的流量紊乱。相对地固定配置于涂布单元(50)的配管(832～834)是沿着与涂布单元(50)的移动方向(X方向)正交的YZ面内而配设。因此，可有效防止如下情况因由往返移动所引起的惯性力，而导致在配管(832～834)的内部流动的涂布液产生流路方向的压力变动。另外，因为配管(832、833)作为压力变动吸收部发挥功能，所以可吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动。如此，能够使压力变动已减少的涂布液从连接于配管(834)的喷嘴喷出。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布装置，其特征在于，包括：基板保持部，保持基板；涂布单元，保持至少一个喷嘴，所述喷嘴对保持于所述基板保持部的所述基板的主表面喷出涂布液；移位机构，使所述涂布单元沿着主扫描方向移位，所述主扫描方向与保持于所述基板保持部的所述基板的所述主表面平行；配管，为至少一个，将从涂布液供给源供给的涂布液输送至所述至少一个喷嘴；以及压力变动吸收部，为至少一个，吸收在所述配管的内部流动的涂布液的压力变动；所述配管具有上游侧的第一管路区间与下游侧的第二管路区间，所述第二管路区间相对地固定配置于所述涂布单元，所述第二管路区间具有所述第二管路区间中的上游侧的上游侧固定管路区间、与所述第二管路区间中的下游侧的下游侧固定管路区间，所述下游侧固定管路区间沿着与所述主扫描方向正交的面内而配设，所述压力变动吸收部设于所述下游侧固定管路区间。
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