[发明专利]一种基于等离子体制备石墨烯薄膜的装置及其方法有效
| 申请号： | 201510057529.1 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN104671237A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 薄拯;岑可法;严建华;池涌;李晓东;钱佳静 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于等离子体制备石墨烯薄膜的装置及其方法。石英管中间横向设有样品支撑架，石英管上部设有阴电极，石英管下部设有阳电极，石英管上、下端设有密封橡皮塞，阴电极与样品支撑架之间设有负辉区，阳电极与样品支撑架之间设有法拉第暗区，气体调节阀经质量流量计、上端密封橡皮塞与石英管上部相连，高压负电源经上端密封橡皮塞与阴电极相连，真空泵经真空调节阀、真空计、下端密封橡皮塞与石英管下部相连，阳电极经下端密封橡皮塞接地。本发明制备得到的石墨烯薄膜石墨化程度高，性能优良。此外，本发明相比于传统化学还原法及热还原方法，具有耗时短、还原效率高、无需还原剂及加热源等优点，具有大规模工业化应用的潜力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 等离子体 制备 石墨 薄膜 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种基于等离子体制备石墨烯薄膜的装置，其特征是：包括气体调节阀(1)、质量流量计(2)、高压负电源(3)、阴电极(4)、样品支撑架(5)、阳电极(6)、石英管(7)、真空泵(8)、真空调节阀(9)、真空计(10)、负辉区(11)、法拉第暗区(12)；石英管(7)中间横向设有样品支撑架(5)，石英管上部设有阴电极(4)，石英管下部设有阳电极(6)，石英管上、下端设有密封橡皮塞，阴电极与样品支撑架之间设有负辉区(11)，阳电极与样品支撑架之间设有法拉第暗区(12)，气体调节阀(1)经质量流量计(2)、上端密封橡皮塞与石英管上部相连，高压负电源(3)经上端密封橡皮塞与阴电极(4)相连，真空泵(8)经真空调节阀(9)、真空计(10)、下端密封橡皮塞与石英管下部相连，阳电极(6)经下端密封橡皮塞接地。
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