[发明专利]一种超声波喷雾微波管式炉及运用

摘要

本发明公开了一种超声波喷雾微波管式炉及运用，属于喷雾热解法制备氧化物薄膜与粉末冶金领域。本发明所述的是一种超声波喷雾微波管式炉加热联合制备ITO薄膜与粉体的方法，其特征在于利用超声波将铟锡前驱体盐溶液进行雾化，然后通过载气将雾化液滴送人微波横式加热管式炉中进行闪速热解反应，当雾滴接触到高温石英玻璃片时会形成的一层ITO薄膜。同时其他雾滴形成超细的、表面积大、分散性好、形貌好的ITO粉体。本发明工艺过程操作简单，成本低廉，合理的利用物料，与传统法喷雾法在高温玻璃片寸底相比减少了物料的浪费。创造了通过超声波喷雾热解法与微波管式加热炉联合同时制备ITO薄膜与粉体的可能。

主权项

一种超声波喷雾微波管式炉，其特征在于包括：空气压缩泵（1）、转子流量器（2）、超声波喷雾器（3）、超声波造雾振动盘（4）、雾滴（5）、石英玻璃导管（6）、石英玻璃管（7）、微波加热装置（8）、微波发生器（9）、石英玻璃片（10）、辅助加热材料（11）、保温材料（12）、粉体缓冲沉降瓶（13）、粉体（14）、粉体收集瓶（15）、第一级碱液吸收尾气装置（16）、第二级碱液吸收尾气装置（17），空气压缩泵（1）通过转子流量器（2）和超声波喷雾器（3）相连通，超声波喷雾器（3）的底部设置有超声波造雾振动盘（4），超声波喷雾器（3）通过石英玻璃导管（6）与石英玻璃管（7）相连通；石英玻璃管（7）的内部设置有石英玻璃片（10），石英玻璃片（10）的后面设置有辅助加热材料（11），石英玻璃管（7）的外部设置有微波加热装置（8），微波加热装置（8）与石英玻璃管（7）之间设有保温材料（12），微波加热装置（8）上设置有微波发生器（9）；石英玻璃管（7）的另一端粉体缓冲沉降瓶（13），粉体缓冲沉降瓶（13）与粉体收集瓶（15）相连通；粉体收集瓶（15）、第一级碱液吸收尾气装置（16）与第二级碱液吸收尾气装置（17）依次相连通。