[发明专利]一种基板检测装置及方法在审
| 申请号： | 201510067583.4 | 申请日： | 2015-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN104568973A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 李发顺;崔富毅;白雪飞;阮士薪 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杜秀科 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板检测装置及方法，以准确、快速地检测基板是否存在缺陷，从而可以有效的对产品品质进行管控，减少生产成本的浪费。基板检测装置包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基板检测装置，其特征在于，包括线光源发光装置和反射光接收装置，其中：所述线光源发光装置以设定的入射角向基板发射入射光，所述入射光随线光源发光装置与基板的相对运动而扫描基板表面；所述反射光接收装置接收射向基板标准平面的入射光所对应的反射光；用于当所述反射光的实际接收区段与标准接收区段不一致时，发出基板存在缺陷报警信号。
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