[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件在审

专利信息
申请号: 201510070740.7 申请日: 2015-02-11
公开(公告)号: CN104849962A 公开(公告)日: 2015-08-19
发明(设计)人: 黄伟杰;施俊安 申请(专利权)人: 奇美实业股份有限公司
主分类号: G03F7/075 分类号: G03F7/075
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 贾静环
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件。所述感光性聚硅氧烷组合物包括聚硅氧烷(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)、含酰胺酸基的硅烷化合物(C)以及溶剂(D)。当将所述感光性聚硅氧烷组合物用于形成保护膜时,保护膜表现出良好的断面形状及耐热性。
搜索关键词: 感光性 聚硅氧烷 组合 保护膜 具有 元件
【主权项】:
一种感光性聚硅氧烷组合物,其特征在于,其包括:聚硅氧烷(A);邻萘醌二叠氮磺酸酯(B);含酰胺酸基的硅烷化合物(C);以及溶剂(D),其中所述聚硅氧烷(A)是由式(1)所示的化合物聚缩合来形成,Si(R1)W(OR2)4‑W式(1)式(1)中,R1各自独立表示氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基;R2各自独立表示氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基;w表示选自0、1、2、3的整数。所述含酰胺酸基的硅烷化合物(C)是由式(2)来表示,式(2)中,R3及R3’各自独立表示碳数为1至6的烷基、经取代的碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧基、经取代的碳数为1至6的烷氧基、苯基、经取代的苯基、苯氧基或经取代的苯氧基;R4及R4’各自独立表示碳数为1至10的二价有机基;R5表示碳数为2至20的有机基。
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