[发明专利]缺陷判断装置和缺陷判断方法

摘要

一种缺陷判断装置，确定制造装置引起的缺陷。本发明的一个实施方式的缺陷判断装置(10)具备：第1候选确定部(14)，其将工件中的检查区域分割为规定的多个分割区域，将包括阈值以上的缺陷的分割区域设定为第1缺陷候选区域；以及第2候选确定部(15)，其在由特定制造装置连续处理后的A个工件的组中将B个以上的工件中包含第1缺陷候选区域的分割区域的位置判断为该组的第2缺陷候选区域。

主权项

一种缺陷判断装置，能应用于生产线，上述生产线用能分别执行制造工序的1个以上的制造装置对工件执行1个以上的上述制造工序，并且用对上述工件进行缺陷检测的1个以上的检查装置来执行上述制造工序之后的检查工序，上述缺陷判断装置的特征在于，具备：缺陷信息取得单元，其针对利用特定制造工序中的特定制造装置进行了处理的多个上述工件，取得包括在上述检查工序中检测出的各工件的缺陷的位置信息的缺陷信息；检查区域分割单元，其将上述工件中的检查区域分割为规定的多个分割区域；缺陷区域设定单元，其将各工件的各分割区域中的包含阈值以上的数量的缺陷的上述分割区域设定为缺陷区域；以及第1判断单元，其在由上述特定制造工序中的上述特定制造装置连续处理后的A个上述工件的组中进行缺陷区域的比较，在进行了比较的A个工件中将B个以上的上述工件中包含缺陷区域的分割区域的位置判断为上述比较的组的特定缺陷的存在位置，其中2≤B≤A。