[发明专利]热处理方法及热处理装置

摘要

本发明提供一种热处理方法及热处理装置，可以在不对基材造成损伤的情况下将形成在基材上的加热对象物升温到目标温度。通过送出辊及卷取辊，以辊对辊方式来搬送树脂的基材。在基材的表面的一部分上形成有功能层。对基材中包含必须抑制升温的升温抑制区域的供给区域,由喷出头喷出并供给纯水的液滴。若从闪光灯对基材的表面照射闪光，则将功能层升温到升温目标温度，另一方面，在基材的升温抑制区域中，水蒸发时吸收蒸发热，因此超过水的沸点的升温得到抑制。结果，可以在不对基材造成损伤的情况下将形成在基材上的功能层升温到目标温度。

主权项

一种热处理方法，通过对形成有加热对象物的基材照射光而使所述加热对象物升温，并且所述热处理方法的特征在于包括以下工序：供给工序，将在低于所述加热对象物的升温目标温度的温度下发生相转变的相转变物质选择性地供给于供给区域，其中所述供给区域至少包含所述基材中必须抑制升温的升温抑制区域；以及加热工序，对附着有所述相转变物质的基材照射光，对所述加热对象物进行加热。