[发明专利]力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置有效
| 申请号： | 201510079397.2 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104897318B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 神谷俊幸 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;B25J19/02 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 舒艳君;李洋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置。上述力检测装置具备：第一基板；第二基板；第一元件，其根据外力输出信号；固定部件，其对设置于第一基板与第二基板之间的第一元件进行夹持，并对第一元件施加压力；以及第二元件，其设置于第一基板与固定部件之间，并根据与通过固定部件施加于第一元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出信号，在从第一基板的厚度方向观察时，针对第一元件配置有至少一对固定部件。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 机器 以及 电子 部件 输送 | ||
【主权项】：
1.一种力检测装置，其特征在于，具备：/n第一基板；/n第二基板；/n第一电荷输出元件，其根据外力输出信号；/n固定部件，其对设置于所述第一基板与所述第二基板之间的所述第一电荷输出元件进行夹持，并对所述第一电荷输出元件施加压力；以及/n第二电荷输出元件，其设置于所述第一基板与所述固定部件之间，并根据与通过所述固定部件施加于所述第一电荷输出元件的压力的方向相同的方向的外力成分来输出电荷，/n在从所述第一基板的厚度方向观察时，针对所述第一电荷输出元件配置有至少一对所述固定部件。/n
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