[发明专利]具有密封的覆镀通孔的微机械部件和用于制造具有密封的覆镀通孔的微机械部件的方法有效
| 申请号： | 201510079599.7 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN104843629B | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | J·弗兰茨;S·安布鲁斯特;H·格鲁特杰克;J·穆霍;F·N·恩吉蒙齐;A·迪尔;J·巴德尔;S·利宾;R·施特劳布 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提出一种微机械部件和一种用于制造微机械部件的方法。所述微机械部件包括：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述经结构化的第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述经结构化的第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，并且，其中，所述第二导电层(24)可通过在所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18‑i，26‑i)电接通。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 密封 覆镀通孔 微机 部件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有密封的覆镀通孔的微机械部件，所述微机械部件具有：密封封闭的壳体(10)；第一功能构件(12)，所述第一功能构件布置在所述壳体(10)内；经结构化的第一导电层(14)，所述第一导电层接通所述第一功能构件(12)并且所述第一导电层布置在所述壳体(10)内；和经结构化的第二导电层(24)，其中，所述第一导电层(14)通过所述第二导电层(24)电接通，其中，所述第二导电层(24)能够通过所述第二导电层(24)中的横向穿过所述壳体的密封的覆镀通孔(18‑i，26‑i)电接通。
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