[发明专利]X射线产生装置

摘要

提供一种使用在保持真空容器内的真空状态的情况下，能够改变靶面上的X射线产生点，而且防止了变更时的焦点移动的长寿命的透过型靶的X射线产生装置。将真空容器(1)的包括靶(2)的设置部分的一部分利用连结部件(5)而以相对于容器主体部(1a)能够移动的方式连结，以作为容器可动部(1b)，利用该容器可动部(1b)的移动，使X射线产生点变化，并且，在使来自电子源(7)的电子静电地加速和集束的电极组(8)、(9)、(10)中的最终级的电极(10)与靶(2)之间配置固定于容器主体部(1a)而形成的固定阳极(12)，以抑制由容器可动部(1b)的移动导致的电场形状的变化。

主权项

一种X射线产生装置，用于支撑一体地形成靶的X射线照射窗而在靶的下侧伸出的内凸缘部被设置于真空容器内，所述内凸缘部成为支撑朝向真空容器内侧的所述靶的下表面的构造，设置电子源以及针对该电子源和真空容器分别赋予规定的电位差的电极组，通过在真空容器内形成的电场，对来自所述电子源的电子进行加速和集束，并照射在所述靶上，由此，产生X射线，并经由所述X射线照射窗放出到外部，所述X射线产生装置的特征为，将包括所述X射线照射窗在内的所述真空容器的一部分通过连结部件而与真空容器主体部以能够移动的方式连结，并且在所述真空容器内，在所述电极组的最终级的电极与所述靶之间，以相对于真空容器主体部被固定的状态配置有阳极，该阳极与真空容器呈相同电位且形成有用于使电子透过的孔。