[发明专利]制造有机发光显示装置的方法

摘要

本发明公开制造有机发光显示装置的方法a)在基板上形成栅电极；b)在包括栅电极的基板上形成栅绝缘层；c)在栅绝缘层上形成有源层；d)在有源层上形成绝缘层；e)在绝缘层上形成与有源层接触的源电极和漏电极；f)在绝缘层上形成钝化层以覆盖源电极和漏电极；和g)形成与源电极和漏电极之一电气连接的有机发光元件，其中步骤a)包括形成铝、钼或银的金属层、或其层压层，用蚀刻剂组合物蚀刻金属层以形成栅电极，蚀刻剂组合物包括按重量百分比计50％至70％的磷酸、2％至15％的硝酸、5％至20％的乙酸、0.1％至5％的对甲苯磺酸和余量的水，因此，可以同时蚀刻形成栅电极和像素电极的金属层，达到优异的蚀刻效果且以提高的工艺效率制造有机发光显示装置。

主权项

一种制造有机发光显示装置的方法，包括：a)在基板上形成栅电极；b)在包括所述栅电极的所述基板上形成栅绝缘层；c)在所述栅绝缘层上形成有源层；d)在所述有源层上形成绝缘层；e)在所述绝缘层上形成源电极和漏电极，所述源电极和所述漏电极与所述有源层接触；f)在所述绝缘层上形成钝化层，以覆盖所述源电极和所述漏电极；以及g)形成有机发光元件，所述有机发光元件电气连接到所述源电极和所述漏电极中的一者，其中，步骤a)包括形成铝金属层、钼金属层、银金属层、或上述材料层的层压层，然后用蚀刻剂组合物蚀刻所形成的金属层以形成所述栅电极，所述蚀刻剂组合物包括50重量％至70重量％的磷酸、2重量％至15重量％的硝酸、5重量％至20重量％的乙酸、0.1重量％至5重量％的对甲苯磺酸、以及余量的水，其中，所述形成有机发光元件的步骤包括：形成第一电极，所述第一电极与所述源电极和所述漏电极中的一者电气连接；在所述第一电极上形成有机层；以及在所述有机层上形成第二电极，其中，所述第一电极通过在所述钝化层上形成导电材料层然后用蚀刻剂组合物蚀刻所述导电材料层来形成，所述导电材料层为金属氧化物层，所述蚀刻剂组合物包括50重量％至70重量％的磷酸、2重量％至15重量％的硝酸、5重量％至20重量％的乙酸、0.1重量％至5重量％的对甲苯磺酸、以及余量的水，其中，所述金属氧化层为氧化铟锡(ITO)层、氧化铟锌(IZO)层、氧化锌(ZnO)层、氧化铟锌锡(IZTO)层、氧化镉锡(CTO)层、或氧化铟镓锌(IGZO)层。