[发明专利]用于制造微机械部件的方法和微机械部件有效
| 申请号： | 201510086498.2 | 申请日： | 2015-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN104843635B | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | D·哈贝雷尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造微机械部件的方法以及一种微机械部件。方法包括以下步骤：提供具有第一外表面和第二外表面的衬底，第二外表面背离第一外表面；构造穿过衬底从衬底的第一外表面直到衬底的第二外表面的通孔；在衬底的第二外表面上安装光学功能层，其中，光学功能层遮盖通孔；在衬底的第一外表面处如此移除衬底的第一区段，使得形成相对于衬底的第二外表面倾斜的第三外表面，第三外表面背离衬底的第二外表面，其中，倾斜的第三外表面包围通孔；通过分离衬底的具有通孔的第一部分和光学功能层的安装在第一部分处的第二部分与衬底的剩余部和光学功能层的剩余部来分离微机械部件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 部件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造微机械部件的方法，其具有以下步骤：提供(S01)具有第一外表面(10‑f)和第二外表面(10‑b)的衬底(10)，所述第二外表面背离所述第一外表面(10‑f)；构造(S02)穿过所述衬底(10)从所述衬底(10)的第一外表面(10‑f)直到所述衬底(10)的第二外表面(10‑b)的通孔(12‑ij)；在所述衬底(10)的第二外表面(10‑b)上安装(S03)光学功能层(14)，其中，所述光学功能层(14)遮盖所述通孔(12‑ij)；在所述衬底(10)的第一外表面(10‑f)处如此移除(S04)所述衬底(10)的第一区段(18‑2)，使得形成相对于所述衬底(10)的第二外表面(10‑b)倾斜的第三外表面(16‑i)，所述第三外表面背离所述衬底(10)的第二外表面(10‑b)，其中，所述倾斜的第三外表面(16‑i)包围所述通孔(12‑ij)；以及通过将所述衬底(10)的具有所述通孔(12‑ij)的第一部分(22‑i)和所述光学功能层(14)的安装在所述第一部分(22‑i)处的第二部分(24‑i)与所述衬底(10)的剩余部和所述光学功能层(14)的剩余部分离来分离(S12)所述微机械部件。
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