[发明专利]负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法在审
| 申请号： | 201510087880.5 | 申请日： | 2011-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN104597712A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 福山雄大;增田克之;平田知广;小林雄二;安克彦;二宫智 | 申请（专利权）人： | 日立化成工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;C08F277/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;王未东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。所述负型感光性树脂组合物含有：包含下述通式(1)所表示的重复单元的(A)环状烯烃树脂、(B)多官能性丙烯酸单体、和(C)光聚合引发剂，式中，R1、R2、R3和R4各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为5～15的环烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为4～20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷基羰氧基、碳原子数为3～20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 绝缘 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种负型感光性树脂组合物，其含有：包含下述通式(1)所表示的重复单元的(A)环状烯烃树脂、(B)多官能性丙烯酸单体、和(C)光聚合引发剂，式中，R1、R2、R3和R4各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为5～15的环烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为4～20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷基羰氧基、碳原子数为3～20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。
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