[发明专利]缺陷检查设备和方法在审
| 申请号： | 201510088682.0 | 申请日： | 2015-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN105223207A | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 姜旻秀;宋尚宪 | 申请（专利权）人： | 韩华泰科株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 胡江海;龚振宇 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检查设备和方法。该缺陷检查设备包括：载物台，支撑物体；第一发光单元，发射将入射在物体上的光；反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；第二发光单元，设置在相对于载物台与第一发光单元相对的方向上，并发射将入射在物体上的光；相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；第三发光单元，设置为靠近反射器，并发射将入射在物体上的光。第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的一部分光。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种缺陷检查设备，包括：载物台，支撑物体；第一发光单元，发射将要入射在物体上的光；反射器，将由第一发光单元发射并被物体反射的光再次反射到物体上；第二发光单元，设置在关于载物台与第一发光单元相对的方向上，并发射将要入射在物体上的光；相机，包括接收被反射器反射、入射在物体上、且随后被物体反射的光以及从第二发光单元入射在物体上并穿过物体的光的成像器件；第三发光单元，被设置为靠近反射器，并发射将要入射在物体上的光，其中，第三发光单元发射的光以与反射器反射的光的角度不同的角度入射在物体上，成像器件接收从第三发光单元发射并入射在物体上的光中的被物体散射的一部分光。
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