[发明专利]一种快速检测黑心片的方法

摘要

本发明涉及硅棒切片检测领域，具体是涉及一种快速检测黑心片的方法。一种快速检测黑心片的方法，按照如下步骤进行步骤一、将待测硅棒进行切片；步骤二、硅棒切片的电阻率，低于临界值的为合格产品，高于临界值的产品为不合格产品。本发明的有益效果是本发明能够快速简便的区别黑心片，节省了成本，提高了工作效率；对环境要求不是很高，可以采用现场生产现场测试的方法，降低了测试周期；节省材料，降低能源消耗。

主权项

一种快速检测黑心片的方法，其特征在于按照如下步骤进行：步骤一、将待测硅棒进行切片；步骤二、将硅棒切片一面紧贴金属板，硅棒切片、金属板、电源、电流表、金属探针形成一个串联回路，探针放置于硅棒切片另一面上，通过探针测量硅棒切片多个位置硅棒切片电阻率，计算硅棒切片多个位置的电阻率高于临界值的比率，如果比率小于等于10%，该硅棒切片为良好切片，如果比率大于10%，小于等于40%，该硅棒切片为轻微黑心片，如果比率大于40%，该硅棒切片为严重黑心片，金属探针有多根，金属探针在5mm的半径圆上，组成三个探针同心圆，金属探针通过探针固定装置固定，每个探针都串联一个电流表，然后和硅棒切片、金属板、电源构成一个闭合回路，电流表都信号连接处理装置，处理装置连接显示屏。