[发明专利]偏振光照射装置

摘要

在将载置于工作台的基板输送到偏振光的照射面并对基板照射偏振光的偏振光照射装置中，能够检测偏摇的产生，能够有助于成品率的改善。光照射器(1)经由偏振元件(12)对照射面(I)照射偏振光，通过由第一移动机构(22)使工作台(21)移动来使载置于工作台(21)的基板(S)通过照射面(I)并进行输送。由激光干涉计(4)构成的偏摇检测构件在一直直线移动到照射面(I)的位置时检测工作台(21)的偏摇。偏摇是围绕与照射面(I)垂直的轴的旋转。

主权项

1.一种偏振光照射装置，其特征在于，具备：光照射器，经由偏振元件对所设定的照射面进行光照射；以及输送系统，使载置有基板的工作台移动，将基板输送到照射面的位置，所述输送系统包括：第一直线移动机构，使工作台在从脱离照射面的位置朝向照射面的位置的第一方向上直线移动；以及θ方向移动机构，通过使所述工作台围绕与所述工作台的载置面垂直的轴旋转，将所述工作台设为相对于所述偏振元件为规定的姿态，所述偏振光照射装置中设置有用于检测所述工作台的偏摇的偏摇检测构件，所述偏摇检测构件具备反射镜及对所述反射镜照射激光的激光干涉计，根据基于在所述反射镜反射后返回来的激光的干涉光，检测所述工作台的偏摇，所述偏振光照射装置中设置有第一定板，在所述第一定板上搭载有第二直线移动机构、所述θ方向移动机构及所述工作台，所述第一直线移动机构，是使所述第一定板在所述第一方向上移动，从而使所述第二直线移动机构、所述θ方向移动机构及所述工作台与所述第一定板一体地在所述第一方向上移动的机构，所述第二直线移动机构，是使所述工作台在与所述第一方向正交的第二方向上直线移动的机构，所述第二直线移动机构是不使所述第一定板移动的机构，所述θ方向移动机构，是使所述工作台围绕与所述工作台的基板载置面垂直的轴旋转的机构，所述θ方向移动机构是不使所述第一定板旋转的机构，所述反射镜设置于所述第一定板。