[发明专利]检查装置以及异常检测方法有效
| 申请号： | 201510093160.X | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN104931128B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 曾根聪史 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 夏斌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供检查装置以及异常检测方法。根据一个实施方式，检查装置具备：设置部，用于设置被检查物；振动检测部，输出与上述被检查物的振动相对应的信号；判断部，基于上述检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物相对于上述设置部设置时的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成对上述设置部的构成要素各自的固有振动频率的振动功率进行表示的振动信息，基于上述振动信息来判断上述检查装置有无异常；以及传递部，将上述检测部的输出信号朝上述判断部传递。 | ||
| 搜索关键词： | 被检查物 检查装置 振动检测部 输出结果 异常检测 振动信息 固有振动频率 傅里叶变换 构成要素 输出信号 振动功率 传递 检测 输出 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置，其特征在于，具备：振动测定器，具有：振动检测台，设置被检查物；夹持部，夹持上述被检查物而载放于上述振动检测台；振动检测部，由于上述被检查物的载放时的冲击而振动，且由于在夹持部之间夹持了上述被检查物时的冲击而振动，输出与这些振动相对应的信号；以及传递部，传递上述振动检测部的输出信号；以及判断部，被输入从上述传递部传递的上述输出信号，基于上述振动检测部的输出结果来判断被检查物有无异常，并且对上述被检查物的载放时以及夹持上述被检查物时的至少一方的上述振动检测部的输出结果进行傅里叶变换，而形成同时表示上述振动测定器的构成要素各自的固有振动频率的振动功率的振动信息，上述判断部为，在上述被检查物的载放时或者在上述夹持部之间夹持了上述被检查物时，基于上述振动信息来判断上述振动检测台、上述夹持部、上述振动检测部、以及上述传递部有无异常。
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