[发明专利]加速度传感器有效
| 申请号： | 201510093716.5 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN104897926B | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | D.梅因霍尔德 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02;G01L1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;徐红燕 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及加速度传感器。公开了各种加速度传感器。在一些情形中，惯性质量可以在后端线（BEOL）期间形成。在其它情形中，薄膜可以具有弯曲、波动或蜿蜒的形状。在又其它实施例中，惯性质量可以横跨两个或更多个压力感测结构。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种加速度传感器，包括：压力感测结构，在晶片中形成，其中所述压力感测结构包括薄膜，以及惯性质量，在所述压力感测结构上提供，所述惯性质量包括后端线结构，其中所述薄膜在没有惯性质量的薄膜部分中具有由没有惯性质量的所述薄膜部分上覆所述晶片的非平坦表面造成的蜿蜒的形状、波动的形状或弯曲的形状中的至少一个。
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