[发明专利]一种条状InAs纳米带及其制备和应用有效

专利信息
申请号: 201510098082.2 申请日: 2015-03-05
公开(公告)号: CN104695020B 公开(公告)日: 2017-03-01
发明(设计)人: 潘安练;马亮;朱小莉 申请(专利权)人: 湖南大学
主分类号: C30B29/40 分类号: C30B29/40;C30B29/64;C30B25/02
代理公司: 长沙市融智专利事务所43114 代理人: 颜勇
地址: 410082 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明涉及一种条状InAs纳米带及其制备和应用,属于半导体材料制备与应用技术领域。本发明所述InAs纳米带是化学式为InAs的条状纳米带,所述条状InAs纳米带的带宽为500nm‑4μm;长度为5‑50μm。本发明通过先沉积得到InAs纳米线,然后控制调整蒸气中In与As的摩尔比为100‑10001,使得InAs纳米线在沿长度方向生长的同时也往宽度方向生长;得到了结晶质量高的条状InAs纳米带。本发明所设计以及制备的条状InAs纳米带用于集成半导体器件的制备时具有高迁移率、高集成度、好操作等方面的优势。
搜索关键词: 一种 条状 inas 纳米 及其 制备 应用
【主权项】:
一种条状InAs纳米带,其特征在于:所述InAs纳米带是化学式为InAs 的条状纳米带,所述条状InAs纳米带的带宽为500 nm‑4 μm;长度为5‑50 μm。
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