[发明专利]一种条状InAs纳米带及其制备和应用有效
申请号: | 201510098082.2 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN104695020B | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | 潘安练;马亮;朱小莉 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B29/64;C30B25/02 |
代理公司: | 长沙市融智专利事务所43114 | 代理人: | 颜勇 |
地址: | 410082 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种条状InAs纳米带及其制备和应用,属于半导体材料制备与应用技术领域。本发明所述InAs纳米带是化学式为InAs的条状纳米带,所述条状InAs纳米带的带宽为500nm‑4μm;长度为5‑50μm。本发明通过先沉积得到InAs纳米线,然后控制调整蒸气中In与As的摩尔比为100‑10001,使得InAs纳米线在沿长度方向生长的同时也往宽度方向生长;得到了结晶质量高的条状InAs纳米带。本发明所设计以及制备的条状InAs纳米带用于集成半导体器件的制备时具有高迁移率、高集成度、好操作等方面的优势。 | ||
搜索关键词: | 一种 条状 inas 纳米 及其 制备 应用 | ||
【主权项】:
一种条状InAs纳米带,其特征在于:所述InAs纳米带是化学式为InAs 的条状纳米带,所述条状InAs纳米带的带宽为500 nm‑4 μm;长度为5‑50 μm。
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