[发明专利]快闪存储器位线间缺陷的检测方法有效
申请号: | 201510104035.4 | 申请日: | 2015-03-10 |
公开(公告)号: | CN104681102B | 公开(公告)日: | 2018-08-14 |
发明(设计)人: | 罗旖旎;张宇飞 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G11C29/56 | 分类号: | G11C29/56 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提出了一种快闪存储器位线间缺陷的检测方法,在对所述快闪存储器进行检测时,对待检测位线施加预定正电压,将所述待检测位线相邻的两个位线电压维持在0V,从而可以通过检测待检测位线与相邻的两个位线之间电流或通过检测待检测位线对应存储单元的阈值电压,精确判断所述待检测位线和相邻的两个位线之间是否存在缺陷,以筛选出制造过程中引入的缺陷问题,提高产品的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 闪存 储器位线间 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种快闪存储器位线间缺陷的检测方法,其特征在于,包括步骤:提供快闪存储器,所述快闪存储器包括多个位线;在对所述快闪存储器进行检测时,对待检测位线施加预定正电压,将所述待检测位线相邻的两个位线电压维持在0V;检测所述待检测位线和相邻的两个位线之间的电流与基准值比较或将所述待检测位线对应存储单元的阈值电压与基准值比较,判断所述待检测位线和相邻的两个位线之间是否存在缺陷。
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