[发明专利]工件研磨方法和工件研磨装置有效
| 申请号： | 201510111674.3 | 申请日： | 2015-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN104907917B | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 澁谷和孝;中村由夫 | 申请（专利权）人： | 不二越机械工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种工件研磨方法和工件研磨装置。本发明的方法能够以高研磨效率研磨高硬度工件。该方法包括如下步骤：将工件的表面压在转动研磨板的研磨部上；以及在执行该加压步骤时供给研磨液。该方法的特征在于，将通过气体放电而已经被活性化的活性化气体转变成气泡并混入研磨液中。 | ||
| 搜索关键词： | 工件 研磨 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种工件研磨方法，其包括如下步骤：将所述工件的表面压到转动研磨板的研磨部上；以及在执行将所述工件的表面压到所述转动研磨板的研磨部上的同时供给研磨液，所述方法的特征在于，将通过气体放电而生成的等离子体形式的活性化气体转变成微纳米气泡并混入所述研磨液。
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