[发明专利]一种二极管裸晶圆高速双针测试装置

摘要

本发明公开了一种二极管裸晶圆高速双针测试装置，包括第一、第二测试针、用于安放待测裸晶圆芯片的裸晶圆吸片台，及测试仪，该测试仪弹片及其上的弹片触点、该触点与气缸上的触点相对应，当给测试仪表测试信号时，电磁阀驱动气缸上的触点与弹片触点接触，通过第一测试针接触待测裸晶圆上的单颗芯片与测试仪形成闭合回路，实现对待测裸晶圆上单颗芯片的测试，测试结束后，电磁阀驱动气缸上的触点与弹片触点脱离，形成断开电路，同理，电磁阀驱动第二测试针所在的电路形成闭合回路，对第二测试针正下方的芯片进行测试。即可实现裸晶圆上两颗芯片的测试，大大提高了裸晶圆的测试效率。

主权项

一种二极管裸晶圆高速双针测试装置，包括第一测试针（1）和第二测试针（2），一个裸晶圆吸片台（3）,该裸晶圆吸片台（3）用于放置待测裸晶圆芯片（4）; 其特征是：一个测试仪，该测试仪包括安装板（5）,及安装板（5）上设置的弹片绝缘垫块（7）, 弹片绝缘垫块（7）上对称设有向两侧延伸的弹片（8）及其上的两个弹片触点（9）,与两个弹片触点（9）相对应的一侧对称设有触点安装座（11）,每一触点安装座（11）的一端设有与弹片触点（9）相对应的两个触点（10）,触点安装座（11）另一端与气缸（13）连接，所述的气缸（13）上带有第一进气接头（14）和第二进气接头（15）,还包括安装板（5）上安装有电磁阀（17）,所述的电磁阀（17）上带有第一接头（16）、第二接头（19）和气源接头（18）,所述的第一接头（16）和第二接头（19）分别通过气管与气缸（13）上的第一进气接头（14）和第二进气接头（15）连接，所述气源接头（18）通过气管与外接的气源连接，测试时，两个弹片触点（9）和两个触点（10）组成的电极端与第一测试针（1）和第二测试针（2）的一端连接，第一测试针（1）和第二测试针（2）的另一端与裸晶圆吸片台（3）上的待测裸晶圆芯片（4）接触；所述的测试仪是一个具有 X/Y/Z三个方向运动的平台。