[发明专利]一种激光烧蚀靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201510113779.2 | 申请日： | 2015-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN104669748A | 公开（公告）日： | 2015-06-03 |
| 发明（设计）人： | 费金华 | 申请（专利权）人： | 吴江华诚复合材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B32B27/08 | 分类号： | B32B27/08;B32B27/30;B32B27/18;B32B7/12;C08L31/04;C08L29/04;C08L79/04;C08L71/02;C08K5/101;B29C47/06 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 连围 |
| 地址： | 215200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光烧蚀靶材及其制备方法，上述激光烧蚀靶材，依次由(氯乙烯-乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成，各层之间涂有粘合剂。本发明还提供了上述激光烧蚀靶材的制备方法。本发明的操作工艺简单方便，可以通过该方法生产不同组成厚度、不同宽度的激光烧蚀靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 烧蚀靶材 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种激光烧蚀靶材，其特征在于，依次由(氯乙烯‑乙酸乙烯酯)共聚物层、复合材料层和聚甲基丙烯酸乙烯酯层制成，各层之间涂有粘合剂。
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