[发明专利]用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置

摘要

一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄、挡块、钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖。钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。根据本发明的用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，采用了双重保护结构，挡玻璃置于腔室保护监测装置座内腔，在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔，构成第一重保护。遮板置于真空腔室内，遮蔽腔室保护监测装置视口，构成第二重保护。

主权项

一种用于真空镀膜生产线的腔室保护监测装置，包括遮板(1)、密封圈(2)、快卸连接器(3)、磁流体密封件(4)、卡环(5)、手柄(6)、挡块(15)、钢丝挡圈(8)、挡玻璃(9)、密封圈(10)、观察玻璃(11)、橡胶垫圈(12)和法兰盖(13)，其特征在于，钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖构成第一保护结构；遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块构成第二保护结构。